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一颗芯片出厂前要经过哪些测试
拿到一颗MCU焊上板子程序能跑串口能发数据我们会觉得它基本正常。可对芯片厂家来说这些现象还不足以证明它能出厂内部有没有制造缺陷关键参数是否符合规格封装连接是否可靠都需要分别检查。芯片测试贯穿开发和生产。晶圆阶段先筛选裸片封装后再检查成品的功能与参数可靠性验证则研究器件在规定应力下的表现。对硬件工程师来说了解这条测试链也有助于读懂数据手册里的保证条件判断上板问题该从哪里查。本文以常见集成电路为主。数字、模拟、存储器、射频和功率芯片的测试重点不同具体流程由产品、工艺、封装与质量要求决定。一 芯片还在晶圆上时就要先测一遍晶圆加工完成后上面排列着许多裸片。它们采用同一套设计但制造过程中可能出现颗粒污染、连接异常或参数偏离不会天然拥有完全一样的表现。通常所说的晶圆测试也常被称为Wafer Probe或Wafer Sort行业里还会见到CP这一叫法。探针台负责定位晶圆使探针卡上的微探针与裸片测试焊盘接触自动测试设备ATE提供电源、激励和测量能力测试程序再判断响应是否合格。[1]可以把它想成“先给还没分开的芯片做体检”。但探针不是扎进硅片内部逐个找晶体管而是通过设计好的接触点与片内电路和测试结构建立电气连接。图1 晶圆测试的设备连接、探针接触和测试图示意。测试图中的颜色代表不同结果不对应某厂商的固定规则。测试结果会与裸片坐标关联形成晶圆测试图。哪些位置通过、哪些失败、哪些进入不同分档都可以记录下来。后续挑片依据这些结果减少对已知不合格裸片继续封装的投入。[1]这里也要留意接触条件。探针污染、接触电阻异常和定位偏差可能影响测量产线需要控制接触质量并按规则处理异常。一次测试失败需要结合失效项目和设备状态分析不能只凭结果就把原因归结为硅片制造缺陷。二 上电能工作之后还要测功能和参数ATE是Automatic Test Equipment的缩写。它不是一台万能示波器而是由电源、数字测试通道、模拟测量等资源组成的测试系统实际配置随芯片类型变化。测试接口板与探针卡或测试座负责把这些资源接到待测芯片。[2]测试程序需要规定供电电压、输入信号、时序、负载和判定限值。只说“输出正常”没有足够意义还要知道是在什么条件下正常。一般会先安排适合该器件的连接检查和基本电学检查再进入更复杂的测试。例如检查引脚连接、异常漏电或供电电流可以尽早发现不适合继续测试的器件。这里的连接检查是受控电学测试不能简单理解成用蜂鸣档测所有引脚。图2 ATE通过测试接口施加电源和信号再比较测量结果与判定限值。不同芯片使用的仪器资源和项目不同。功能测试关心电路是否按预期动作。例如数字接口能否响应规定序列存储器能否完成规定读写电源芯片能否启动并进入相应状态。参数测试则关心“动作得怎么样”。运放可能需要检查失调和静态电流电源芯片可能需要检查输出电压、限流阈值等项目ADC可能需要检查失调、增益或线性度相关指标。具体测哪些、怎样测要服从对应产品的测试计划。[2]以一颗假设的3.3V稳压芯片为例能输出电压只是第一步规定负载和输入电压下的输出误差、静态电流和保护行为仍需分别判断。这些是帮助理解的项目示例并非某型号的完整出厂测试清单。三 引脚数量有限怎样检查芯片内部一颗复杂数字芯片内部有大量逻辑和存储单元外部引脚却只有有限数量。只靠正常运行的软件去观察结果很难高效覆盖内部制造缺陷。因此芯片设计阶段就要考虑可测试性称为DFT也就是Design for Test。[3]扫描链是其中一种常见结构。部分触发器在测试模式下连接成可以移入、移出数据的链。测试设备先装入指定状态再让相关逻辑运行并捕获响应最后移出结果进行比较。正式设计还可能采用多条扫描链和压缩结构图中的单链只是原理示意。图3 扫描链通过移入、捕获、移出观察逻辑响应存储器内建自测试利用片内测试结构执行读写检查。两者均为功能示意。自动测试向量生成ATPG会针对选定故障模型生成测试数据。例如固定型故障模型用来描述节点表现得像始终为0或1的情况转换延迟类模型则关注转换是否及时。这些模型用于组织检测并不等于把每一种真实物理缺陷都完整复现。[3]存储器还可以采用MBIST即存储器内建自测试。片内测试逻辑按指定算法进行读写并判断结果。具备冗余与修复机制的设计还可能利用备用资源替换失效部分随后再确认修复结果是否支持这些能力取决于芯片设计。[4]因此“测试覆盖率很高”也需要说明覆盖对象。针对某个故障模型得到的覆盖率不能直接解释为发现了同样比例的全部实际缺陷更不能替代软件功能验证或整机验证。四 封装完成后为什么还要再测晶圆测试之后芯片经历切割、连接和封装等处理。引线键合、倒装连接以及封装材料会引入新的连接与机械应力条件所以裸片阶段合格不能直接替代封装后的成品判断。成品测试通常称为Final Test简称FT。分选机Handler负责器件搬运、定位并按设备能力控制测试温度测试座与接口板连接芯片和ATE测试程序检查规定条件下的功能与参数再依据结果分选。[1][2]图4 封装后通过测试座连接ATE进行成品测试。图中的常温、低温、高温表示可选择的测试条件不代表所有产品逐颗经过三个温度点。不同产品可能在常温、低温或高温安排测试也可能采用不同的组合。测试座接触、信号完整性、供电压降和器件自热都需要纳入测量控制。尤其高速或大电流测试接口本身会影响看到的结果。部分复杂芯片还会安排系统级测试SLT让器件在更接近实际系统的环境中运行规定负载用来补充已有测试覆盖。它并非所有芯片统一具有的一道工序也不等于用户已经完成整机应用验证。[2]测试记录中“合格”始终对应具体程序与条件。如果用户板上的电源时序、外围负载、散热或输入范围与要求不符出厂合格的芯片仍可能工作异常。五 为什么有的芯片会分档或做参数修调即使同一设计、同一工艺制造参数也会有分布。有的芯片速度余量较大有的漏电更低有的模拟参数更接近目标。厂家可以依据产品规则对测试结果分档但并非所有芯片都用同一种分档方式。测试分档需要满足对应产品规格。不能把所有较低档次产品都理解为缺陷芯片也不能认为任何失败器件都能换个型号继续出售。是否存在不同等级取决于设计、测试和产品定义。图5 参数分布、规格边界与测试限值的关系示意。修调展示可调参数趋近目标的概念不代表所有参数均可修正。部分模拟或混合信号芯片会安排修调通过调整设计预留的配置使参考电压、失调等可调参数更接近目标。可能采用激光或片内可编程配置等方式具体手段和所处阶段随产品而变。修调后仍需确认结果它不能修复任意制造缺陷。[9]测试判定也要考虑测量误差和不同条件下的变化。例如某个假设参数的公开上限为10个单位如果测试测量存在误差厂家可能设置更严格的内部判定限值为交付规格留出余量。实际余量由测量能力与统计验证确定不能从这个示例照搬一个固定比例。这也解释了数据手册为什么要同时看Min、Typ、Max和脚注。Typ通常描述典型表现Min与Max是否构成保证、适用哪些条件要结合表头和说明判断。某项指标可能通过生产测试保证也可能通过设计和特性表征保证不能默认每颗芯片都在全部电压、温度与负载组合下逐项测过。[5]六 老化筛选与可靠性验证分别解决什么问题在普通电学测试之后还有一个问题器件在规定应力作用下会不会出现潜在失效或明显退化这就涉及老化筛选和可靠性验证但两者的目的与实施范围需要区分。老化筛选通常称为Burn-in。在规定温度、偏置与工作条件下运行一定时间并配合电学检查可以帮助筛出部分早期失效风险。是否采用、对哪些器件采用以及持续多久都由产品与筛选要求决定不能说所有芯片出厂前都要逐颗老化。[6]可靠性验证则依据产品、工艺或封装的验证计划开展通常采用规定批次与样本并配合持续可靠性监控。高温工作寿命HTOL用于评估工作应力下的可靠性温度循环关注反复热胀冷缩带来的风险温湿度偏置或高加速应力试验用于评估相应湿热条件下的表现。[6][7]图6 生产电测、按产品要求采用的老化筛选以及抽样可靠性验证的区别。应力条件、批次数量和样本量均应查具体验证报告。ESD和闩锁等验证也属于需要单独理解的项目。芯片级静电评级与整机接口的静电抗扰度试验测试模型和应用条件不同不能只拿一个电压数字互相替代。[7][10]厂家公开的验证报告通常会列出应力条件、持续时间、批次数量、每批样本量与结果。以TI某产品的资格验证摘要为例HTOL项目列出了1000小时、规定温度条件、3个批次和每批77个样本。这个记录说明相应验证计划的实施情况并不表示该型号每颗出货芯片都逐颗运行1000小时。[7]加速应力试验也不能简单换算成“高温运行一天就保证正常使用多少年”。寿命推断需要对应失效机理、加速模型、实际任务条件和统计依据样本通过验证不等于每一颗器件的实际寿命都完全相同。[8]七 硬件工程师怎样使用这些信息选芯片时先看推荐工作条件再看电气参数的测试条件和保证说明。绝对最大额定值用于说明应力边界不应当作可以长期正常工作的设计目标。实际设计仍要给电压、温度、负载和瞬态应力留出与应用相符的余量。[11]遇到问题时把“芯片测试过”和“应用条件符合要求”分别核对。MCU复位可以先检查芯片引脚处的供电和复位时序ADC误差需要同时检查参考、输入驱动和采样配置电源芯片发热还要看布局、负载与散热。这样收集的波形和条件才能与厂家规格建立对应关系。需要更高可靠性的项目还应查具体订购型号、封装、资格验证报告和变更信息。一个系列名字或一句“通过认证”无法替代这些信息。芯片出厂前经过的是一组有明确目标、条件和判定规则的测试。读懂这些规则既能理解厂家怎样筛出合格器件也能知道自己的板子还需要验证哪些条件。
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